4”-8”晶圆适用真正无滚轮非接触真空贴膜超薄晶圆非接触贴膜能力配置可翻转晶圆机械手贝努利晶圆搬运技术晶圆智能料篮内测绘可选晶圆料盒直接上料非接触晶圆校正蓝膜、紫外线胶膜可选工控机+Windows系统SECS/GEM 或简易联网能力.....

4”-8”/8”-12”晶圆适用防静电滚轮贴膜自动胶膜传送、对准及贴覆手动晶圆装卸料预切割膜、蓝膜、紫外线胶膜可选基于PLC 的程序控制.....

4”-8”晶圆适用无滚轮真空贴膜自动胶膜传送及贴覆手动晶圆装卸料自动胶膜切割蓝膜、紫外线胶膜可选工控机+Windows系统.....

4”-8”/8”-12”晶圆适用防静电滚轮贴膜自动胶膜传送及贴覆手动晶圆装卸料手动胶膜切割蓝膜、紫外线胶膜可选基于PLC 的程序控制.....

6”-8”/12”晶圆适用真空裂片技术自动晶圆装卸料自动晶圆CCD对准自动晶圆裂片及扩膜自动已扩膜晶圆照射紫外线自动晶圆倒膜工控机+Windows系统SECS/GEM 或简易联网能力.....

6”-8”/12”晶圆适用真空裂片技术手动晶圆装卸料手动晶圆对准自动裂片基于PLC 的程序控制.....

4”-8”晶圆适用独特的滚轮碾压裂片自动双向裂片手动晶圆装卸料基于PLC 的程序控制.....

4”-8”/8”-12”晶圆适用手动晶圆装卸料365纳米波长紫外LED颗粒阵列照射时间可控可选嵌入式紫外线能量传感器高强度紫外线能量输出长寿命LED颗粒基于PLC 的程序控制.....

4”-8”晶圆适用可处理薄晶圆可选晶圆料篮、料盒等方式装卸料晶圆分选功能晶圆倒片功能视觉检查功能显微镜检查功能平台模块化设计工控机+Windows系统SECS/GEM 或简易联网能力超小型尺寸.....

12”支撑环适用防静电滚轮贴膜自动胶膜传送及贴覆手动基板装卸料自动胶膜切割蓝膜、紫外线胶膜可选基于PLC 的程序控制.....