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UV29TE/UV29TH-紫外线照射机

4”-8”/8”-12”晶圆适用
手动晶圆装卸料
365纳米波长紫外LED颗粒阵列
照射时间可控
可选嵌入式紫外线能量传感器
高强度紫外线能量输出
长寿命LED颗粒
基于PLC 的程序控制