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晶圆搬运传输系统
2016-03-17
1. 晶圆搬运机械手2. 晶圆预对准系统3. 晶圆装卸料坞(Loadport).....
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晶圆切割及分离处理
2016-03-17
1. 晶圆切割贴膜机2. 晶圆裂扩片倒膜一体机.....
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晶圆薄化及保护处理
2016-03-17
1. 晶圆临时键合解键合机2. 晶圆减薄贴撕膜机3. 晶圆减薄抛光一体机4. 晶圆光刻贴膜机5. 晶圆级覆膜机6. 晶圆保护贴膜机.....
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晶圆外观及身份处理
2016-03-17
1. 晶圆表面检查机2. 晶圆分选机3. 晶圆倒片装拆包机.....
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